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静电mems振镜原理

结构设计差异、制造过程差异。结构设计差异:双轴MEMS振镜的两个轴向采用了不同的结构设计,导致两个方向的振动频率不同。

MEMS 采用二维微振镜,仅需要少量激光收发单元,通过一面MEMS微振镜来反射激光器的光束即可实现对目标物体的3D扫描,对激光器和探测器的数量需求明显减少。

表现良好。微振镜是采用光学MEMS技术制造的,把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。

采用相控阵原理实现固态激光雷达,完全取消了机械结构,通过调节发射阵列中每个发射单元的相位差来改变激光的出射角度。光学相控阵一般都是通过电信号对其相位进行严格的控制实现光束指向扫描,因此也可以称为电子扫描技术。

预弓度技术在各类MEMS振镜、MEMS夹心镜、MEMS聚沙成塔模拟器等光学设备中得到了广泛应用。特别是在投影显示领域的DLP技术中,预弓度技术得到了全面的应用。

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