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电子扫描显微镜(SEM)的工作原理???

扫描电子显微镜原理是利用材料表面微区的特征(如形貌、原子序数、化学成分、或晶体结构等)的差异,在电子束作用下通过试样不同区域产生不同的亮度差异,从而获得具有一定衬度的图像。

放大率:与普通光学显微镜不同,在SEM中,是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率,只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到。所以,SEM中,透镜与放大率无关。

扫描电子显微镜通过用聚焦电子束扫描样品的表面来产生样品表面的图像。电子与样品中的原子相互作用,产生包含关于样品的表面测绘学形貌和组成的信息的各种信号。

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